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2025-07-17 15:17:10 +08:00
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@@ -0,0 +1,29 @@
== Definition of the axes
坐标轴的定义。
坐标轴在我们的研究中需要被明确定义,因为 4H-SiC 的各向异性,以及在不同文献中坐标轴的不同定义。
4H-SiC 晶体中存在镜面mirror plane和滑移面glide plane如图所示。
4H-SiC 的原子结构沿镜面反演后不变,但沿滑移面反演后还需要沿 z 轴平移半个晶格常数才能保持不变。
我们定义 x 轴平行于滑移面y 轴与 x 轴垂直并平行于一个镜面。
同时,我们定义 a 轴与 x 轴平行b 轴与 a 轴夹角为 120 度。
在此定义下,晶圆的切边沿 x 方向(即 [$11 overline(2) 0$] 方向),
台阶流外延过程中台阶台阶边沿平行于 y 方向(即 [$1 overline(1) 00$] 方向),生长方向为 x 方向(即 [$11 overline(2) 0$])。
此定义与 material projects 数据库以及大部分文献中的定义一致,而与其它一些文献中的定义不一致。
(最后一行补充参考文献)。
The axes in our study need to be clearly defined due to the anisotropy of 4H-SiC.
In the 4H-SiC crystal, there are three mirror planes and three glide planes, as shown in @figure-axis.
The atomic structure of 4H-SiC remains unchanged under reflection across a mirror plane,
but it requires a translation of $1/2c$ to remain unchanged under reflection across a glide plane.
We define the x-axis parallel to the glide plane,
and the y-axis perpendicular to the x-axis and parallel to a mirror plane.
Concurrently, we define the a-axis parallel to the x-axis,
and the b-axis at an angle of 120#sym.degree to the a-axis.
Under this definition, the wafer edge is along the x-axis (i.e. [$11 overline(2) 0$]),
the step edge during step-flow epitaxy is parallel to the y-axis (i.e. [$1 overline(1) 00$]),
and the growth direction is along the x-axis (i.e. [$11 overline(2) 0$]).
This definition is consistent with most literature and the Materials Project database,
while it differs from some other literature.
#include "fig-axis.typ"

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@@ -1,5 +1,6 @@
= Method
#include "axis/default.typ"
#include "wafer.typ"
#include "experiment/default.typ"
#include "model.typ"

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@@ -15,14 +15,3 @@ The Al doping concentrations, determined by SIMS,
The W#sub[1]W#sub[4] had an epitaxial layer thickness of 1 μm, while W#sub[5] had a thickness of 2 μm.
The Si/C ratios during growth were 0.7, 1.2, 1.6, 2.4, and 2.0 for the five wafers, respectively.
坐标轴的定义
坐标轴的定义需要仔细考量才能使计算与实验结果对应。
4H-SiC 存在三个互相之间夹角为 60 度的镜面mirror plane同时还存在三个互相之间夹角为 60 度的滑移面glide plane
我们定义某一个滑移面与基平面的交线为 x 轴,与此滑移面相垂直的镜面与基平面的交线为 y 轴。
同时,我们定义沿 x 方向为晶格的 a 轴(即 a 轴在一个滑移面内)。
此定义与实验中常用的定义一致,包括晶圆的切边沿 xxx 方向(即 xx 轴)、台阶流外延过程中台阶生长的方向为 xxx (即 xx 轴),台阶边沿 沿 y 方向(即 yy 轴)。
此定义也与 material projects 数据库以及一些文献中的定义一致。
然而,此定义与其它一些文献中的定义不同,尤其是与群论中的定义不一致;本文中引用结论时,会将它们的定义转换为本文的定义。
#include "fig-axis.typ"

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@@ -18,7 +18,10 @@
- [x] 画出原子和键75
- [x] 调整图片使得不太杂乱80
- [x] 合成图片20
- [ ] 文字
- [x] 再写中文15
- [x] 英文20
- [ ] 调整画图20
- [ ] 补充参考文献
- [/] 拉曼实验
- [x] 仪器设置
- [x] 中文
@@ -98,5 +101,5 @@
- [ ] 实验
- [ ] 测试不同片子的背面 LOPC确认它们的掺杂是否相同
- [ ] 拟合
- [ ] 拟合最后一次正入射的结果,确定峰位移与掺杂等的关系
- [ ] 拟合最后一次正入射的结果,确定峰位移与掺杂等的关系60
- [ ] 拟合带 LOPC LO