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2024-11-14 02:45:14 +08:00
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# Deep ultraviolet Raman scattering characterization of ion-implanted SiC crystals
## Abstract
在两个不同的温度室温、500 摄氏度)下离子注入 P并在不同温度下退火然后使用拉曼研究注入量和恢复情况。