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@@ -50,3 +50,27 @@
- 29-35: 对最复杂的介电函数的研究,以及使用它来拟合一些红外结果。
- 37-38: 不同载流子浓度下的 LO 阻尼不同(在低掺杂浓度下,近似线性增加),可以认为是 LO 与自由载流子和离子杂质耦合得到的。
= Depth Profiling of Ion-Implanted 4H-SiC Using Confocal Raman Spectroscopy
这篇文章的样品是衬底、大约几微米厚的外延层n型、大约几百纳米厚的离子注入层p型
它使用拉曼来测试这些层的厚度。
在这篇文章中blue shift 指峰向左移动。
这篇文章发现,不同剂量的离子注入会导致衬底的 LOPC 移动。它解释为光子两次通过离子注入层,受到了注入层的影响而导致的。
== 基础知识(无引用)
- 拉曼在横向的空间分辨率主要取决于斑点大小进一步取决于激光波长和物镜的数值孔径NA。共聚焦针孔则影响纵向分辨率。
== 引用
- 3-11: 测试 SiC 电学性质的几个方法包括霍尔效应、SIMS 等,还有很多别的方法。它们都是有损或需要准备样品的。
这些内容在 introduction 的第一段中有详细介绍。
- 12: 拉曼的优点,包括通过共聚焦来提高空间分辨率。
- 2,13-17: 其它几个通过拉曼来测深度分布的文章。
- 12,19: 其它影响拉曼分辨率的因素(折射率、吸收率,等)。
- 26-30: 几个其它的,掺杂影响 LOPC 频率的文章。