65 lines
4.4 KiB
Markdown
65 lines
4.4 KiB
Markdown
关于片子：
|
||
* 有五个片子可以被切为碎片。
|
||
* 这五个片子的 C/Si 比为：0.7 1.2 1.6 2.4 2.0
|
||
* 这五个片子的 Al 浓度分别为：0.1 3.8 5.1 6.4 10 单位是 E18cm-3。
|
||
* 这五个片子编号的末尾分别为：532 631 230 126 206
|
||
* 这五个片子的编号的开头分别为：4N46-{JW,FM,GE,EA,UX}
|
||
* 这五个片子的外延层厚度分别为：1um*5 2um
|
||
* 此外还有两个片子，603 为衬底，重掺n型；911为几乎没有掺杂（略微有一些n）的外延层。
|
||
|
||
* 250908: 正入射，各外延层及衬底的情况。欠焦 5 微米（衬底不欠焦）。光谱范围 170-1100。采集时间 5 累计次数 12 共焦针孔 50 光栅 1800。
|
||
* 250909：
|
||
* 1: 测试不同的共焦针孔和不同的离焦距离。
|
||
* 测试共焦针孔大小：50 100 200
|
||
* 测试离焦距离：0 2 5
|
||
* 同一个点，每次测试三次。
|
||
* 仅测试 zyyz，仅测试LOPC附近。
|
||
* 积分时间不固定，次数x时间总共60s。
|
||
* 在选定最好的共焦针孔和离焦距离后，在更细的尺度上进行调整。最终确定精度：离焦距离 1 针孔大小 10
|
||
* 继续测试：离焦 0，针孔 80 100 120
|
||
* 表面敏感：主要通过调节聚焦针孔。离焦也有一些用，但用处不如调节聚焦针孔来得明显。针孔调整到50左右可能最好，离焦 5 可能最好。
|
||
* 高度、积分时间、积分次数：积分时间需要恰当，使得最高的峰不饱和，同时低处的峰足够高（CCD有限的分辨率可以被忽略）。要分析的目标峰，至少要1000左右比较合适。如果线抖动得比较厉害，说明积分次数（平均次数）不够，需要增加一些。
|
||
* 使用206正面，zyyz。
|
||
* 1: 共焦针孔 50 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
|
||
* 2: 共焦针孔 100 欠焦 0 采集时间 3 累计次数 10
|
||
* 3: 共焦针孔 200 欠焦 0 采集时间 1 累计次数 30
|
||
* 4: 共焦针孔 50 欠焦 2 采集时间 10 累计次数 3
|
||
* 5: 共焦针孔 100 欠焦 2 采集时间 3 累计次数 10
|
||
* 6: 共焦针孔 200 欠焦 2 采集时间 1 累计次数 30
|
||
* 7: 共焦针孔 50 欠焦 5 采集时间 10 累计次数 3
|
||
* 8: 共焦针孔 100 欠焦 5 采集时间 3 累计次数 10
|
||
* 9: 共焦针孔 200 欠焦 5 采集时间 1 累计次数 30
|
||
* 10: 共焦针孔 80 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
|
||
* 11: 共焦针孔 120 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
|
||
* 12: 共焦针孔 70 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
|
||
* 13: 共焦针孔 50 欠焦 5 采集时间 12 累计次数 10
|
||
* 2: 测试各个片子的正入射结果。采集时间 30 累计次数 4 共焦针孔 50 欠焦 5。
|
||
* 测试顺序为：
|
||
* 第一轮：Si 片 532衬底 532 631 230 126 206 Si 片
|
||
* 第二轮与第一轮相反。
|
||
* 标号为：1 Si片 2 532背面 3 532 4 631 5 230 6 126 7 206
|
||
* 250910:
|
||
* 1: 使用 Si 片，测试结果的可复现性。每次测试使用五个点。
|
||
* 2: 使用 Si 片，重复测试同一个点 20 次，计算出峰高等数据的标准差，用作之后的工作中参考。
|
||
* 3: 测试外延片和衬底。离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-650，1 是衬底，其余依次是 532 631 230 126 206。
|
||
* 第一次测试正常完成，全程不移动光谱，但光谱仍然出现偏移。因此仍然需要以某个峰为基准，进行测量。
|
||
* 第二次测试一半时软件崩溃，导致光谱发生移动。此后测试时，需要禁止软件启动时初始化，并且在设定好参数后，立即重启软件（使得软件崩溃后再打开，不需要移动光谱）。
|
||
* 2509xx:
|
||
* 1: 测试衬底数据，用来给论文的无缺陷数据使用。包括正入射 zyyz yzxz，肩入射 yzxy yzzy，以及一个用来自己比对（不写到论文里）的 yxxy。
|
||
离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-1100 测试三个点，忽略光谱移动等误差，论文用三个来平均。
|
||
|
||
|
||
|
||
|
||
1. 测试正入射数据。
|
||
* 使用上面选定的共焦针孔、积分时间、离焦距离。
|
||
* 依次换片：硅片，衬底，12345号片，硅片。然后再反过来。一次只测试一个点。
|
||
* 范围：170-1100
|
||
* ==提前准备好拟合脚本==
|
||
2. 测试肩入射数据。
|
||
* 测试衬底的肩入射数据。测试五个点。
|
||
* 按照某一个标准，测试各个样品的肩入射数据。仅测试yy和yz偏振。
|
||
|
||
|
||
Si 共焦针孔 200
|