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2025-06-09 15:03:23 +08:00
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= 碳化硅载流子浓度的拉曼光谱表征研究

- 这是一个毕业论文。
- 无损检测载流子的方法有电容电压法、霍尔效应法、SIMS。
- 他认为,应该将 4H-SiC 的模式分为两类,强声子模式(我们的强极性模式),进一步分为纵波和横波;
  另一类则是弱声子模式(我们的弱极性模式),分为轴向模和平面模。
- 使用紫外拉曼,可以在低掺杂的情况下增加载流子浓度,从而产生 LOPC 峰。

== 引用

- 47-48: LOPC 的原理的细节。在简并半导体中,电荷密度的频率大约为 50 THz与 LO 频率接近。金属中电子频率要更高,因此不会耦合。
- 57-58: LOPC 本应该有两个分支,另一个由于展宽而不可见。
- 45,57,60,64-66: 在一定浓度范围内2e16-1e17LOPC 峰位与掺杂浓度的关系是线性的;浓度升高,就有其它的因素参与,同时出现不对称性。
- 67,71-74: 使用 FTA 模式200 附近的一对 E2的不对称性和两个峰的相对高度也可以估计掺杂浓度。

= Spectroscopic analysis of electrical properties in polar semiconductors with over-damped plasmons

这篇论文提出了一个新的模型来估计介电函数,进而给出一个新的 LOPC 及红外吸收谱的拟合式子。
这个介电函数在一些细节处比之前拟合的更好(但并不是决定性地好);
  同时,通过这个函数拟合得到的 TO 阻尼系数damped coefficient与常规介电方法得到的差别很大。

此文给出了许多公式,包括各种介电函数,以及使用 m-CDF 得到的 LOPC 散射截面和红外反射。

细节上来说,原本的介电函数考虑了 TO 和自由载流子的阻尼、等离子的频率(被称为 CDF
  额外考虑了 LO 的阻尼后的式子(被称为 m-CDF被广泛使用于拟合红外和拉曼谱
  此外还有一个更加扩展的式子(考虑了等离子体与与 LO 的耦合),但因为其中一些参数与实验没有对应,而没有广泛使用。
在这篇文章中,依然使用 m-CDF。
使用 m-CDF 对 LOPC 在高浓度下的拟合更好在低浓度下差不多同时拟合结果中m-CDF 的 LO 阻尼比 CDF 要小很多。
在红外的拟合中,必须使用 m-CDF 才能同时拟合好 TO 和 LO 附近的光谱。

== 基础知识(无引用)

- 在 SiC 中,等离子是过阻尼的($omega_#text[p] < gamma$)。
- 等离子的频率与掺杂浓度有关。在较低掺杂浓度时,等离子频率远远小于 LO只有在重掺杂的情况下等离子频率才会接近 LO 频率。
  - 基于此LOPC 峰表现得更像原本的 LO 峰;同时 L- 分支会过于展宽而不可见。
- LO 与自由电子和离子杂质的耦合为 Fröhlich-like interaction。
- 在低浓度下LO 阻尼随掺杂浓度近似线性增加(见引用);但在高浓度下,激子频率与 LO 相近,必须使用考虑了 LO 与激子耦合的介电函数。

== 疑问

在这篇文章之后,大家使用的都是这个新的模型,还是依然使用旧的?

== 引用

- 4: 由于较大的载流子阻尼和有效质量n-6H-SiC 的 LOPC 随载流子浓度而产生的偏移很小。
- 16: 在 GaAs 中LOPC 峰的偏移与掺杂浓度关系很大。
- 17: 在 n-SiC 中,一直到 1e19TO 峰都没有可见的展宽,说明 TO 与载流子的几乎没有耦合。
- 16,18-19: 经典介电函数的公式为高频极限、TO 模式、自由载流子三者造成的影响的和)。
- 20-23: 根据广义 Lyddane-Sacks-Teller 关系,在普通的介电函数中,只考虑了 TO 声子;并给出了如何考虑 LO 的阻尼。
- 29-35: 对最复杂的介电函数的研究,以及使用它来拟合一些红外结果。
- 37-38: 不同载流子浓度下的 LO 阻尼不同(在低掺杂浓度下,近似线性增加),可以认为是 LO 与自由载流子和离子杂质耦合得到的。

= Depth Profiling of Ion-Implanted 4H-SiC Using Confocal Raman Spectroscopy

这篇文章的样品是衬底、大约几微米厚的外延层n型、大约几百纳米厚的离子注入层p型。
它使用拉曼来测试这些层的厚度。

在这篇文章中blue shift 指峰向左移动。

这篇文章发现,不同剂量的离子注入会导致衬底的 LOPC 移动。它解释为光子两次通过离子注入层,受到了注入层的影响而导致的。

== 基础知识(无引用)

- 拉曼在横向的空间分辨率主要取决于斑点大小进一步取决于激光波长和物镜的数值孔径NA。共聚焦针孔则影响纵向分辨率。

== 引用

- 3-11: 测试 SiC 电学性质的几个方法包括霍尔效应、SIMS 等,还有很多别的方法。它们都是有损或需要准备样品的。
  这些内容在 introduction 的第一段中有详细介绍。
- 12: 拉曼的优点,包括通过共聚焦来提高空间分辨率。
- 2,13-17: 其它几个通过拉曼来测深度分布的文章。
- 12,19: 其它影响拉曼分辨率的因素(折射率、吸收率,等)。
- 26-30: 几个其它的,掺杂影响 LOPC 频率的文章。

= 拉曼面扫描表征氮掺杂 6H-SiC 晶体多型分布

用拉曼表征了整个晶锭的多型分布。

== 引用

- 1-2: SiC 的优良性质、应用。相应地,第一段开头有一些介绍可以用。
- 5-9: 使用拉曼表征 SiC 表面的组成、应变、载流子。
- 13: 较低的温度有利于 15R 的形成。
- 5,9,14-15: 载流子越少LOPC 越高、越窄、越靠左。

= Raman intensity profiles of zone-folded modes in SiC: Identification of stacking sequence of 10H-SiC

使用拉曼确定 10H 的结构。

具体来说,在计算的部分,它不是用第一性原理来计算拉曼张量的,而是用键极化率模型来估计的。
具体的力常数的数值则是拟合出来的。它还讨论了距离较远的原子的力常数对模式的特征向量(反应在拉曼张量上)的影响。

它将原子的位移表述为“atomic displacement pattern”


== 基础知识(无引用)

- SiC 结构可以用 X 射线衍射、电子显微镜或拉曼来确定。

== 引用

- 1-4,7-8: 拉曼确定堆叠顺序。
- 5-6: 拉曼获得 SiC 的各向异性信息。
- 2: 使用色散曲线,来根据观测到的折叠模式来确定周期(但是堆叠顺序无法得知)。
- 1-2,16-18: 使用 bond polarizability model 来估计拉曼强度。需要阅读一下 3看它们估计得怎样。
- 25: FTA 模式的分裂大小在实验上可以测试得到。
- 26: 最强的 FTO 和 FTA 模式的 reduced wavevector 与六方的比例有关。