要重点关注的内容:
- 恶劣条件:高温环境引起的应力、温度、位错(包括杂质的迁移),以及电磁波的影响(如果有的话)
- 解决这个问题的意义。
- 引发这个问题的机理。
- 解决这个问题的技术路线。
- 哪些可以计算:恶劣条件对材料能带的影响。
研究高温 GaN 器件的意义
2018 ieee 10.1109/ACCESS.2018.2885285
将机械系统(液压等)替换成电子器件,可以提高可靠性、容易维护、减少体积。
传统半导体超过125度之后就不能工作。 如果外加冷却和监控系统会增加系统复杂度,增加体积、重量,降低可靠性,这在一些关键领域(例如航空航天)是不可接受的。 例如,SOI、GaAs、SiGe 只能在 300 度以下工作,并且工作时长有限, 不能满足一些要求(涡轮引擎需要600度,航空航天、金星水星的探索需要500度,地热、汽车的应用也需要500度)。
SiC 和 GaN 具有较好的性质(宽禁带 (3eV),高饱和漂移速率,高热导率,低本征载流子浓度,高击穿电场)。 GaN 等 III-N 比 SiC 好,包括:外延质量更高;晶圆大,同制程(line-width)更便宜;响应速率更高,工作温度更高。 同时还有一个细节上的优势,the temperature stability of electron concentration in the HEMT channel makes GaN devices more stable at high temperature.
带隙可调
高温下 GaN 器件性能下降的机理
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高温会导致本征载流子浓度增加,漏电流增加,肖特基结中的载流子发射漏电流增加。同时,大电流还意味着较大的电阻热(能量损失),以及器件温度的进一步升高。
挑战
2018 ieee 10.1109/ACCESS.2018.2885285
缺陷:
异质外延导致缺陷增加,影响器件性能。大功率器件由于更大的结面积和更大的电压,所以影响更大。工作于300到600度的 GaN 器件已经造出来了,但长期可靠性仍然未知。
和金属的接触:
肖特基/欧姆接触:由于缺少肖特基势垒较低的金属,GaN 的低电阻欧姆接触需要重掺。通常使用 n 型重掺,因为 p 型重掺不容易做。许多种金属(Ti/Al/Ni/Au/Pt)、各种温度(25-600度)的接触都被研究过,有时还会沉积一个介电层来降低漏电流,高温会使得介电层的深能级陷阱离化,导致击穿电压降低。
GaN 声子计算前沿:
- 文章都是在解释热导率在高温下的变化等,没有进行到优化性能这一步。
- 他们算的东西,我们很可能都可以算。实验不一定。(有没有高分辨率 EELS?)
- 三篇文章(都是2024年):
- 河南大学,PRB,高温影响声子非线性效应(四声子作用为主),进一步影响热导率。(Bin Wei, Yongheng Li , Wang Li, Kai Wang, Qiyang Sun, Xiaolong Yang , Douglas L. Abernathy,
Qilong Gao, Chen Li , Jiawang Hong, and Yuan-Hua Lin,High-order phonon anharmonicity and thermal conductivity in GaN,PHYSICAL REVIEW B 109, 155204 (2024) )
- VASP 计算结果用 MLIP 做机器学习生成势场,然后再用 lammps 在大尺寸上模拟。这个我们应该也可以做。
- 理论性不强(没有太多公式推导),LO 模式可能有点问题(之后讨论)。
- 有实验,理论与实验对照。
- 北京大学,nature com.,研究 GaN 中一种层错(PSF)导致的振动模式,把模式分成了三类,每一类原子如何运动、对应哪个 EELS 峰。(Hailing Jiang, Tao Wang , Zhenyu Zhang, Fang Liu, Ruochen Shi
,
Bowen Sheng, Shanshan Sheng, Weikun Ge, Ping Wang, Bo Shen,
Bo Sun, Peng Gao, Lucas Lindsay, Xinqiang Wang, Atomic-scale visualization of defect-induced
localized vibrations in GaN, Nature Communications (2024)15:9052)
- 计算用 QE。似乎不注重在计算,主要在实验。我们要算的话也可以。
- 美国范德比尔特大学,PRB,超晶格的导热性会随着温度升高而降低,研究了各种组分/厚度的超晶格在不同温度下的热导率,以及引起热导率变化的声子模式。(B. Baer, D. G. Walker, and L. Lindsay, Phonon transport governed by intrinsic scattering in short-period AlN/GaN superlattices, PHYSICAL REVIEW B 109, 104310 (2024))
- 计算方法比较新,DFT derived Peierls-Boltzmann transport,DFTPBT,有开源代码,我不确定我们能不能算(没有理由说“不能”)。
- 河南大学,PRB,高温影响声子非线性效应(四声子作用为主),进一步影响热导率。(Bin Wei, Yongheng Li , Wang Li, Kai Wang, Qiyang Sun, Xiaolong Yang , Douglas L. Abernathy,
Qilong Gao, Chen Li , Jiawang Hong, and Yuan-Hua Lin,High-order phonon anharmonicity and thermal conductivity in GaN,PHYSICAL REVIEW B 109, 155204 (2024) )
异质结附近会形成三角形的量子阱,同时电子可能会被trap到晶体中的杂质和界面附近,使得器件输出功率下降。 可以通过施加光照来解决(将电子从陷阱中激发出来)。 有几种影响这个过程的散射机制,包括 polar optic scattering, ionized impurity scattering, piezoelectric scattering and acoustic phonon scattering.