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碳化硅载流子浓度的拉曼光谱表征研究

• 这是一个毕业论文。
• 无损检测载流子的方法，有电容电压法、霍尔效应法、SIMS。
• 他认为，应该将 4H-SiC 的模式分为两类，强声子模式（我们的强极性模式），进一步分为纵波和横波； 另一类则是弱声子模式（我们的弱极性模式），分为轴向模和平面模。
• 使用紫外拉曼，可以在低掺杂的情况下增加载流子浓度，从而产生 LOPC 峰。

引用

• 47-48: LOPC 的原理的细节。在简并半导体中，电荷密度的频率大约为 50 THz，与 LO 频率接近。金属中电子频率要更高，因此不会耦合。
• 57-58: LOPC 本应该有两个分支，另一个由于展宽而不可见。
• 45,57,60,64-66: 在一定浓度范围内（2e16-1e17），LOPC 峰位与掺杂浓度的关系是线性的；浓度，就有其它的因素参与，同时出现不对称性。
• 67,71-74: 使用 FTA 模式（200 附近的一对 E2）的不对称性和两个峰的相对高度，也可以估计掺杂浓度。

Spectroscopic analysis of electrical properties in polar semiconductors with over-damped plasmons

这篇论文提出了一个新的模型来估计介电函数，进而给出一个新的 LOPC 及红外吸收谱的拟合式子，在一些情况下比原先的拟合得更好。

引用

• 1-2: 介绍了 LOPC 的物理背景。