diff --git a/SiC/Aluminum doping of epitaxial silicon carbide.md b/SiC/Aluminum doping of epitaxial silicon carbide.md new file mode 100644 index 0000000..ddd18ff --- /dev/null +++ b/SiC/Aluminum doping of epitaxial silicon carbide.md @@ -0,0 +1,77 @@ +# Aluminum doping of epitaxial silicon carbide + +这篇文章做 CVD 实验验证了各种情况下 Al 的掺杂情况,以及用 CFD 模拟估计了气态的分子组分。 +考虑的晶型包括 4H 和 6H,包括 Si 面和 C 面。考虑的因素包括C/Si 比、生长速率、压力、温度。 + +它的结论包括: +* 降低载气压力可以略微提高生长速度,并可以提高外延质量,但它对 Al 掺杂浓度的影响有时会增加有时会减小。 +* 不同极性面上 Al 掺杂浓度不同,Si 面的 Al 掺杂浓度更高,且对各种参数更敏感(这里的 Si 面定义可能与我们不同)。 +* C/Si 比增加会提高 Al 掺杂浓度。 +* 温度增加会降低 Al 掺杂浓度,或者保持不变。 +* 非常高的 Al 掺杂浓度(10^20)会导致 Al 沉积物。 + +## Introduction + +不同目的的 SiC 需要不同的外延结果。例如: +* 功率器件需要较厚(~50 μm)且掺杂浓度较低的 drift layer,因此可以使用较高的生长速率来制作。 +* 微波器件需要较慢的生长速率,以使得不同层之间的掺杂浓度变化更锐利。 +* 大多数器件需要一个高掺的 cap layer 以形成欧姆接触(按照 p 型来计算,至少需要 10^18 cm^-3)。 + +## Experimental procedure + +载气使用钯扩散氢(Palladium diffused hydrogen),原理是使氢气透过钯膜再进入反应室,目的是获得高纯度的氢气。 +衬底使用 SiC 涂覆的石墨,使用商业上的 4H 和 6H SiC 衬底,有斜切。 + +使用 SIMS 测掺杂浓度。最低可以测出 10^14 的浓度。 + +## Aluminum incorporation model + +它们认为 Al 原子在 Si 面会形成 3 个 Al-C 键,但在 C 面只会有一个,并据此估计 Al 在 Si 面吸附能低, + 但我认为它们可能理解错了 Si 面与 C 面的模型。 + +## Thermodynamic calculations + +使用 CFD-ACE+ 模拟了反应。因为前驱体的浓度非常小,所以一般可以认为是理想气体。 + +考虑了两组反应,一组反应中允许固体生成,另一组中不允许。 +使用的反应条件(气压等)与我们的相差很大。 + +作者说各个组分的分压满足 Arrhenius 公式,但是我没有看到为什么满足。 + +作者认为,C2H2 是主要提供 C 的气体分子。 +因为尽管 CH4 的浓度也很大,但它太稳定,不容易分解。 + +## Results + +### TMA flow rate dependence + +TMA 输入速率增加,Al 掺杂浓度增加。Si 面掺杂浓度是 C 面的 10 倍。 + +### Growth rate dependence + +同时增加 Si 和 C 的供应,掺杂浓度增加,直到达到某个速率后饱和。 +Si 面的情况被解释为:表面的 C 增加,供 Al 吸附的位置增加,导致 Al 掺杂浓度增加。 +他们还认为,Al 的表面扩散与 Si 和 C 互相不影响。 +在较低的生长速率下,Al 在表面富集了很多,只是在较高的生长速率下才能扩散到台阶附近。 + +### C/Si ratio dependence + +C 面不受到影响。保持生长速率不变的情况下,C/Si 比增加(1.5-5.0),Si 面的掺杂浓度增加。 + +### Pressure dependence + +一般来说,载气压力减小(1000-50 mbar)、其它气体压力不变,掺杂均匀性在低压下会更好,且会长得快一些(3.6-5.6 μm/h)。 + +在 3.6 μm/h 的生长速率下,随着载气压力降低,Al 掺杂浓度先增加后减小,在 300 mbar 时达到最大值。 +这可以从两方面来解释:一个是 Al 的分压减小(为什么?),使得 Al 掺杂减小;一个是 C/Si 比变化,使得 Al 掺杂增加。 +气压继续减小时,Al 掺杂略微减小,因为含 Si 分子的脱附增加。 +在 5.6 μm/h 的生长速率下,Al 掺杂随着载气压力的减小而减小。 +作者认为,在这种情况下,Al 的扩散速率受到从气态到表面的吸附速率的限制。 + +### Temperature dependence + +C面时,几乎不受到影响;Si面时,Al 掺杂浓度随着温度的升高而降低(1500-1550°C),然后几乎不变(1550-1600°C)。 + +### Discussion + +非常高的 Al 掺杂 (10^20 cm^-3) 可能会导致 Al 沉积物。 diff --git a/SiC/Aluminum doping of epitaxial silicon carbide.pdf b/SiC/Aluminum doping of epitaxial silicon carbide.pdf new file mode 100644 index 0000000..19ab6f5 --- /dev/null +++ b/SiC/Aluminum doping of epitaxial silicon carbide.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:e216fab5ddb35a12197b173fd810f80ac36ab82d01875a0118fe1cb55f7f16e2 +size 220944 diff --git a/SiC/Analysis of surface diffusion of carbon- and nitrogen-containing molecules during homoepitaxial growth of 4H-SiC (0001) under silicon-rich conditions.md b/SiC/Analysis of surface diffusion of carbon- and nitrogen-containing molecules during homoepitaxial growth of 4H-SiC (0001) under silicon-rich conditions.md index 50114b7..84007d8 100644 --- a/SiC/Analysis of surface diffusion of carbon- and nitrogen-containing molecules during homoepitaxial growth of 4H-SiC (0001) under silicon-rich conditions.md +++ b/SiC/Analysis of surface diffusion of carbon- and nitrogen-containing molecules during homoepitaxial growth of 4H-SiC (0001) under silicon-rich conditions.md @@ -1,2 +1,8 @@ # Analysis of surface diffusion of carbon- and nitrogen-containing molecules during homoepitaxial growth of 4H-SiC (0001) under silicon-rich conditions +研究的是,外延或者PVT过程中,台阶面上,C 和 N 的扩散行为(主要是扩散长度,也就是在脱附之前,大概能扩散多远)。 + +1 Torr \approx 133.32 Pa + +在他之前,很多人使用 BCF(Burton–Cabrera–Frank)理论来研究了 SiC 的台阶,introduction 里有很多文献。 + diff --git a/SiC/Doping induced lattice misfit in 4H–SiC homoepitaxy.md b/SiC/Doping induced lattice misfit in 4H–SiC homoepitaxy.md new file mode 100644 index 0000000..9b71013 --- /dev/null +++ b/SiC/Doping induced lattice misfit in 4H–SiC homoepitaxy.md @@ -0,0 +1,102 @@ +# Doping induced lattice misfit in 4H–SiC homoepitaxy + +这篇论文主要讨论的是重 n 掺杂的衬底与其它掺杂浓度(既包括 n 掺杂也包括 p 掺杂)的外延层的晶格失配。 +通过测量外延后衬底的弯曲程度来估计晶格失配,对于一部分样品还额外使用了 HRXRD 来测量晶格失配。 +还讨论了一些模型来估计外延层的临界厚度,但作者认为这些模型不能用于解释 4H-SiC 的情况,因为 4H-SiC 中非常容易形成层错 + (正文倒数第二段有一些引用文献)。 + +HRXRD 就是 High resolution X-ray diffraction。 + +## Introduction + +作者认为,对于 4H-SiC,晶格失配产生的位错的 burgers 矢量会沿着 $[11\overline{2}0]$ 方向。 +同时,它的线矢也应该在面内,所以它就是 BPD。 +我觉得这个说法未必有道理,但也未必没有道理。 +单纯考虑原子结构,的确有可能因为这个原因产生 BPD,但实验中是否确实会因此产生,很难确定。 + +一些实验测定了与本文相似的一些情况,本文主要是补足和系统化它们的研究。 + +## Experimental + +### Description of samples + +尽量使用了比较薄的衬底,因为这样弯曲会更明显。 + +衬底的 n 浓度为 1.1 到 1.7e10^19 cm^-3。 + +衬底是从同一个晶锭上切下来的,可以认为它们的缺陷密度差不多。 + +生长温度 1650 摄氏度,速度 13 μm/h。 + +使用 FTIR(傅里叶变换红外光谱)测量外延层的厚度。 + +生长了三个系列:一个是保持 n 掺杂 10^15,改变外延层的厚度(12.5,25,50 μm); + 一个是保持外延层厚度 10 μm,改变 n 掺杂浓度(10^15 到 2e10^19); + 一个是保持外延层厚度 12.5 μm,改变 p 掺杂浓度(2e10^19 到 1.5e10^20)。 + +### Wafer geometry measurements and Stoney’s model + +根据一些测量数据,计算外延前和外延后的弯曲程度,相减得到外延层导致的弯曲程度。 +之后,使用 Stoney 模型,来根据这个弯曲程度,估计晶格失配。 + +### Analysis of reciprocal space maps + +这个方法似乎是用来直接测量晶格尺寸的,但具体是如何做到的,我没有看懂。 + +### Synchrotron X-ray topography and defect selective etching + +似乎是使用一些实验方法来测试缺陷密度的。 + +## Results + +### Dislocation densities of substrates and epilayers + +我们的外延片的缺陷密度和衬底差不多,都是 10^4 cm^-2 的量级。我们认为从衬底到外延片,缺陷既没有产生也没有湮灭。 + +### Determination of wafer curvature + +N 掺杂造成的弯曲很小,在 10 微米的外延层的情况下,所有的掺杂浓度中,均只有大约 0.02 m^-1 的弯曲。 +如果外延层厚度改变,则弯曲程度大致也线性改变。 + +TODO: 对于后者,拟合的直线似乎截距不是零。退火可以导致掺杂原子重新分布,进而导致弯曲程度变化? + +而对于 Al,随着掺杂浓度增加,弯曲程度迅速增加,最大可以超过 0.2 m^-1。 +所有这些弯曲都是凸起的。 + +### Determination of lattice constants by HRXRD + +除了用实验直接测试了样品的晶格常数,还计算了如果弛豫之后,晶格常数应该是多少。 + +可以看到,横向的晶格常数(a)对于不同的 Al 掺杂浓度变化不大(只有很少的增加),但纵向的晶格常数(c)却有很大的增加, + 导致它与衬底的晶格常数差距变大。 + +## Discussion + +### Lattice misfit between substrate and epilayer + +这里提到了一个 Jacobson 提到的公式,用于估计替换杂质导致的晶格常数的变化比率(按照各项同性来估计)。 +它除了浓度,还考虑了体模量和剪切模量。 + +### Critical epilayer thickness + +#### Models for critical epilayer thickness + +有两个用来估计产生的缺陷的密度,一个叫 MB-model,一个叫 PB-model。 +前者假定衬底中的缺陷都会传递到外延层,当外延层厚度超过一定值时,晶格失配会导致刃位错在外延层与衬底附近产生额外的位错, + 导致位错增加。 +后者假定衬底中没有缺陷,缺陷是在外延过程中在生长界面中产生(如果产生缺陷的能量比不产生的低的话), + 并滑移到外延层与衬底的界面附近的。 +临界厚度就是缺陷开始增加的厚度。 + +#### Distinction between pseudomorphic and relaxed epilayers + +文中提到,从衬底到外延层没有缺陷的增加,被称为 pseudomorphic growth,即外延层受到的应力完全转化为应变而没有产生缺陷。 + +#### Comparison of experiment and models + +MB 模型预测的临界厚度比较薄(因为在缺陷附近再产生缺陷比较容易),而 PB 模型预测的临界厚度比较厚。 + +我们的厚度都比 MB 模型预测的临界厚度要厚,但比 PB 模型预测的要薄。 +我们的实验结果都没有产生位错。但仔细考量后,我们认为 MB 和 PB 模型都不能用于解释 4H-SiC 的情况。 + + diff --git a/SiC/Doping induced lattice misfit in 4H–SiC homoepitaxy.pdf b/SiC/Doping induced lattice misfit in 4H–SiC homoepitaxy.pdf new file mode 100644 index 0000000..51aa042 --- /dev/null +++ b/SiC/Doping induced lattice misfit in 4H–SiC homoepitaxy.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:55fb51122cdfd0ee94897c5221a590d3b5a215a5be3842a8d6515006be9498c0 +size 636884 diff --git a/SiC/Gas-Phase Modeling of Chlorine-Based Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide.md b/SiC/Gas-Phase Modeling of Chlorine-Based Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide.md new file mode 100644 index 0000000..f91b83c --- /dev/null +++ b/SiC/Gas-Phase Modeling of Chlorine-Based Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide.md @@ -0,0 +1,7 @@ +# Gas-Phase Modeling of Chlorine-Based Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide + +这篇文章计算了 SiC CVD 过程中气相的组成(带 Cl)。算是开创计算方法的一个文章。 +在计算时,考虑的因素有:前驱体的类型,温度,Cl/Si 比,前驱体的聚集度(这是什么?)。 + +这篇文章也不是讲方法的,而是用商业软件(叫做 CFD-ACE+)来计算的。卒。 + diff --git a/SiC/Gas-Phase Modeling of Chlorine-Based Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide.pdf b/SiC/Gas-Phase Modeling of Chlorine-Based Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide.pdf new file mode 100644 index 0000000..69eb572 --- /dev/null +++ b/SiC/Gas-Phase Modeling of Chlorine-Based Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:f2ea2dfb7dd89c4c915c3f8450377033b4bc9ceb5aab072765a31ca301b4aba8 +size 2566848 diff --git a/SiC/Properties and Applications of Silicon Carbide.pdf b/SiC/Properties and Applications of Silicon Carbide.pdf new file mode 100644 index 0000000..4fa623e --- /dev/null +++ b/SiC/Properties and Applications of Silicon Carbide.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:d25caef061c1cd95f0dee03fa278ab016e38ca1b38791003a32c23530fd0889b +size 46289536 diff --git a/SiC/Sticking coefficient and Si C ratio of silicon carbide growth species on reconstructed 4H SiC 0001 surface by ab initio calculations.md b/SiC/Sticking coefficient and Si C ratio of silicon carbide growth species on reconstructed 4H SiC 0001 surface by ab initio calculations.md new file mode 100644 index 0000000..faf7f1f --- /dev/null +++ b/SiC/Sticking coefficient and Si C ratio of silicon carbide growth species on reconstructed 4H SiC 0001 surface by ab initio calculations.md @@ -0,0 +1,89 @@ +# Sticking coefficient and Si C ratio of silicon carbide growth species on reconstructed 4H SiC 0001 surface by ab initio calculations + +这篇文章考虑了 PVT 过程中 SiC 的各种表面重构,并对最稳定的结构计算了表面的 Si/C 比以及各种组分的吸附系数(贡献比率)。 + +## Introduction + +PVT 过程中典型的温度是 2200 摄氏度,典型的压强为 5x10^-6 Torr (6.65x10^-4 Pa)。 + +这里列举了几个 CVD 里会出现的缺陷和对应的条件: +* Si/C 比很低时,三角形缺陷等表面形貌缺陷会比较容易出现,一般认为它是由于 Si 空位而产生的。 +* Si/C 比很高时,台阶会聚集成较大的台阶,同时出现 C 空位和 Si 液滴(droplets)。 + +PVT 时,原料与生长面的距离对生长结果有比较大的影响。 +一般来说,距离足够远时,生长较慢,有足够的扩散时间,生长的质量较高。距离较近时生长质量不好。 + +在 PVT 中,籽晶需要经过抛光和化学腐蚀以去除表面的氧化层,然后通过退火使得表面重构到较稳定的状态, + 然后使用氢气等饱和表面的悬挂键。 + +有不同的实验研究了 SiC 的表面重构。但这些实验使用的标记我看不懂。 + +## Theoretical methods + +S1上表面、S2上表面可以被标记为 h-terminate、k-terminate(对应关系还没有确定),这是 Jagodzinski 标记。 +其中 ABCB 中,B 是 h 层,截断它的为 h-terminate,A 和 C 是 k 层,截断它的为 k-terminate。 +对应到我们的模型中,S1 上表面为 h,S2 上表面为 k。 + +一些模型同时计算了自旋极化和非极化的情况,它们的能量略有差别。 + +定义了 sticking coefficient,定义为分子每次碰撞到表面上后,被吸附的概率。 +有两种方法来估计:一种是使用 Reuter 和 Scheffler 提出的理论,一种是使用 MD 模拟。 +本文中使用前者,并且稍作修改。 +作者说吸附过程没有势垒,这与我计算结果一致。 + +作者在估计吸附概率时,考虑了温度。但这个温度影响的效应,仅限制于在不同位置上的相对吸附概率。 +如果直接假定在所有可行的吸附位点上概率都相同(吸附能量都相同的话),它实际上是没有考虑吸附概率随着温度的变化, + 也就是和我之前的方法是一样的。 +所以,实际上应该同时考虑一个脱附概率。 + +## Results and discussion + +### Models and their stability + +图 2f-h 的模型作者称为 Buckled model with (2x1) top surface periodicity, + 这与我在模拟中发现的高低不平在一定程度上是一致的。 +作者提到,这个模型与理想模型在能量上不稳定(不一定谁高谁低),因此之后不再考虑这个模型。 +除了这个模型和理想模型以外,作者还考虑了一个 π-bonded chain mode,简称 π-BC。 +π-BC 带自旋极化的结果不考虑,因为它会回到不带自旋极化的结果。 +π-BC 的结果都比理想模型能量要低,但它的模型太小了,我不确定它的计算结果是否正确。 +之后只考虑 π-BC 的结果。 + +### Adsorption of SiC growth species on the (2x1) 4H−SiC(0001)C π-bonded chain (π-BC) Surface + +考虑了各种分子吸附到表面上的情况,包括 Si4C2(有两种构型),SiC2,Si2C2。 +这些被认为是 PVT 中主要的分子。 + +第五页右侧第二段作者讨论了各种位置的情况,但是我没有看明白到底哪个位置是指代哪里。 + +#### SiC(g) Species adsorption + +SiC 在气态中占比不高,但它到表面上的吸附系数很高,因此也被考虑。 + +SiC 分子有两头可能会吸附到表面上,也就是有两个吸附位置。 +π-BC 表面上有九个吸附位点。 +还考虑了吸附时分子可能在不同的角度。 +结论表明,其中一种情况(称为 T7C_R)能量最低。 + +#### SiC2(g) Species adsorption + +#### Si2C2(g)(I1) Species adsorption + +#### Si4C2(g)(I1) Species adsorption + +Si4C2(g)(I1) 和 Si4C2(g)(I2) 被认为是 PVT 中最多的分子。 + +#### Si4C2(g)(I2) Species adsorption + +#### Sticking coefficient + +作者认为,首先,这些分子吸附到表面上后,不会保持 Si、C 原子数不相等的情况,而是会互相组合成一比一的 SiC 固体。 + +使用等价位点的个数除以总位点的个数,作为吸附的概率。 + +作者认为他提出了一个通用的计算吸附概率的方法。 + +#### Si/C ratio + +研究了在特定温度下,生长面附近的 Si/C 比如何变化。 + + diff --git a/SiC/Sticking coefficient and Si C ratio of silicon carbide growth species on reconstructed 4H SiC 0001 surface by ab initio calculations.pdf b/SiC/Sticking coefficient and Si C ratio of silicon carbide growth species on reconstructed 4H SiC 0001 surface by ab initio calculations.pdf new file mode 100644 index 0000000..7ef6262 --- /dev/null +++ b/SiC/Sticking coefficient and Si C ratio of silicon carbide growth species on reconstructed 4H SiC 0001 surface by ab initio calculations.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:fa43e9ed5d4c2b6273fc0f5cd45280709d37c0a6302a30765cabb58a8e573f85 +size 3823003 diff --git a/SiC/Surface Kinetic Mechanisms of Epitaxial Chemical Vapour Deposition of 4H Silicon Carbide Growth by Methyltrichlorosilane-H2 Gaseous System.md b/SiC/Surface Kinetic Mechanisms of Epitaxial Chemical Vapour Deposition of 4H Silicon Carbide Growth by Methyltrichlorosilane-H2 Gaseous System.md new file mode 100644 index 0000000..a7a731b --- /dev/null +++ b/SiC/Surface Kinetic Mechanisms of Epitaxial Chemical Vapour Deposition of 4H Silicon Carbide Growth by Methyltrichlorosilane-H2 Gaseous System.md @@ -0,0 +1,22 @@ +# Surface Kinetic Mechanisms of Epitaxial Chemical Vapour Deposition of 4H Silicon Carbide Growth by Methyltrichlorosilane-H2 Gaseous System + +这篇讲的是,使用 CH3-Si-Cl3 作为唯一源气时,4H-SiC CVD 时的表面动力学。 + +提到:卤素的加入可以加速沉积,选用 Cl 是因为便宜又纯度高。 + +TODO: 提到了很多研究 H-Si-C-Cl 体系的文章,可以顺着看一看。 + +TODO: 提到了 tail gas test,用来确认对气体中成分的猜测是否正确。 + +这个文章用 COMSOL 模拟了在 CVD 的不同空间位置(例如,衬底中心附近,衬底边缘)温度的分布, + 然后根据温度计算分子组成。 +计算分子组成的方法引用的别的文章,似乎本质上还是化学平衡常数的方法,用到的实验数据和参数也是从别的文章里拿的。 +使用的温度也与我们完全不同。 + +文中声称,达到化学平衡的时间比气体流过的时间长得多,因此总是假定没有达到化学平衡。 + +文中还计算了,吸附到不同位点上时的 sticking coefficient。这是怎么来的? + + + + diff --git a/SiC/Surface Kinetic Mechanisms of Epitaxial Chemical Vapour Deposition of 4H Silicon Carbide Growth by Methyltrichlorosilane-H2 Gaseous System.pdf b/SiC/Surface Kinetic Mechanisms of Epitaxial Chemical Vapour Deposition of 4H Silicon Carbide Growth by Methyltrichlorosilane-H2 Gaseous System.pdf new file mode 100644 index 0000000..2e6fca3 --- /dev/null +++ b/SiC/Surface Kinetic Mechanisms of Epitaxial Chemical Vapour Deposition of 4H Silicon Carbide Growth by Methyltrichlorosilane-H2 Gaseous System.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:0606cc8aac9d87724bc7a6d40554b607dba19470423df94984790b992bb9bc6a +size 2338208 diff --git a/SiC/碳化硅功率器件技术发展综述.pdf b/SiC/碳化硅功率器件技术发展综述.pdf new file mode 100644 index 0000000..50c23e4 --- /dev/null +++ b/SiC/碳化硅功率器件技术发展综述.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:90cb21077e99c4328f27c7e31dd9b5a1e39659f0b81c18bdb0b4a7b13739efba +size 3071208 diff --git a/化学/Ab Initio Calculations of the Equilibrium Constants of the Gas-Phase Reactions.md b/化学/Ab Initio Calculations of the Equilibrium Constants of the Gas-Phase Reactions.md new file mode 100644 index 0000000..eb37360 --- /dev/null +++ b/化学/Ab Initio Calculations of the Equilibrium Constants of the Gas-Phase Reactions.md @@ -0,0 +1,2 @@ +# Ab Initio Calculations of the Equilibrium Constants of the Gas-Phase Reactions + diff --git a/化学/Ab Initio Calculations of the Equilibrium Constants of the Gas-Phase Reactions.pdf b/化学/Ab Initio Calculations of the Equilibrium Constants of the Gas-Phase Reactions.pdf new file mode 100644 index 0000000..13c5d40 --- /dev/null +++ b/化学/Ab Initio Calculations of the Equilibrium Constants of the Gas-Phase Reactions.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:3f871f3926db16df46d4eb333d053c2cfab31b1d5b751a78d70d1ed34925ab1b +size 362285 diff --git a/化学/Ab Initio Kinetics of Gas Phase Decomposition Reactions.md b/化学/Ab Initio Kinetics of Gas Phase Decomposition Reactions.md new file mode 100644 index 0000000..60e28e9 --- /dev/null +++ b/化学/Ab Initio Kinetics of Gas Phase Decomposition Reactions.md @@ -0,0 +1,2 @@ +# Ab Initio Kinetics of Gas Phase Decomposition Reactions + diff --git a/化学/Ab Initio Kinetics of Gas Phase Decomposition Reactions.pdf b/化学/Ab Initio Kinetics of Gas Phase Decomposition Reactions.pdf new file mode 100644 index 0000000..bbefeb6 --- /dev/null +++ b/化学/Ab Initio Kinetics of Gas Phase Decomposition Reactions.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:57e2f90f49fc4bc3be132277ed86012aab2248ad1456305e71df3ea24ba11381 +size 1197166 diff --git a/化学/Ab initio equilibrium constants for H2O-H2O and H2O-CO2.md b/化学/Ab initio equilibrium constants for H2O-H2O and H2O-CO2.md new file mode 100644 index 0000000..3050ad4 --- /dev/null +++ b/化学/Ab initio equilibrium constants for H2O-H2O and H2O-CO2.md @@ -0,0 +1,4 @@ +# Ab initio equilibrium constants for H2O-H2O and H2O-CO2 + +TODO: 这篇读一读,照着做一做 + diff --git a/化学/Ab initio equilibrium constants for H2O-H2O and H2O-CO2.pdf b/化学/Ab initio equilibrium constants for H2O-H2O and H2O-CO2.pdf new file mode 100644 index 0000000..87af4c5 --- /dev/null +++ b/化学/Ab initio equilibrium constants for H2O-H2O and H2O-CO2.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:b592ef16e53cedf5961cc4e5194738bb551b79d9455b413213a0ce94164282ae +size 679619 diff --git a/未分类/Composition, structure, and stability of RuO2 110 as a function of oxygen pressure.pdf b/未分类/Composition, structure, and stability of RuO2 110 as a function of oxygen pressure.pdf new file mode 100644 index 0000000..b5be7df --- /dev/null +++ b/未分类/Composition, structure, and stability of RuO2 110 as a function of oxygen pressure.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:030318542a8386a48cc891c66bf740a1c460bc34a6121e80dbf47e01cb9570e1 +size 260174 diff --git a/未分类/Conversion of Shockley partial dislocation pairs from unexpandable to expandable combinations after epitaxial growth of 4H-SiC.pdf b/未分类/Conversion of Shockley partial dislocation pairs from unexpandable to expandable combinations after epitaxial growth of 4H-SiC.pdf new file mode 100644 index 0000000..e3365dc --- /dev/null +++ b/未分类/Conversion of Shockley partial dislocation pairs from unexpandable to expandable combinations after epitaxial growth of 4H-SiC.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:6395b2882f70fecbb95e91fcf78d1d55cc2f52bcca66bd4728e0439f18963e92 +size 7839177 diff --git a/未分类/Core-shell InGaN GaN wires for flexible LEDs.pdf b/未分类/Core-shell InGaN GaN wires for flexible LEDs.pdf new file mode 100644 index 0000000..90efc6c --- /dev/null +++ b/未分类/Core-shell InGaN GaN wires for flexible LEDs.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:d173691af2f6848166cd88794143408719c6e481ce3279a459a7c331dd0cfbcd +size 11690655 diff --git a/未分类/David Sholl, Janice A Steckel - Density functional theory_ A practical introduction-Wiley-Interscience (2009).pdf b/未分类/David Sholl, Janice A Steckel - Density functional theory_ A practical introduction-Wiley-Interscience (2009).pdf new file mode 100644 index 0000000..b498a75 --- /dev/null +++ b/未分类/David Sholl, Janice A Steckel - Density functional theory_ A practical introduction-Wiley-Interscience (2009).pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:f9de7110186a0c7c720324d6fc61d95cb3ba8435b16521d1784d8d5267c0a52e +size 1948819 diff --git a/未分类/Electrochemical Methods Fundamentals and Applications.pdf b/未分类/Electrochemical Methods Fundamentals and Applications.pdf new file mode 100644 index 0000000..dc5d464 --- /dev/null +++ b/未分类/Electrochemical Methods Fundamentals and Applications.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:5982c4e86d2b4be109c2d0ca54a1fa496010ac38b075a9d51d833cb51a41d1e3 +size 24051357 diff --git a/未分类/Electron affinity and surface states of GaN m-plane facets: Implication for electronic self-passivation.pdf b/未分类/Electron affinity and surface states of GaN m-plane facets: Implication for electronic self-passivation.pdf new file mode 100644 index 0000000..a69b3f9 --- /dev/null +++ b/未分类/Electron affinity and surface states of GaN m-plane facets: Implication for electronic self-passivation.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:908b6017828116afc1ebfe74c35106f1e463e75dc4deee978d6eadf216c7c158 +size 312965 diff --git a/未分类/Elementary Electronic Structure.djvu b/未分类/Elementary Electronic Structure.djvu new file mode 100644 index 0000000..16953cc Binary files /dev/null and b/未分类/Elementary Electronic Structure.djvu differ diff --git a/未分类/GaN m-plane: Atomic structure, surface bands, and optical response.pdf b/未分类/GaN m-plane: Atomic structure, surface bands, and optical response.pdf new file mode 100644 index 0000000..aa3f0f9 --- /dev/null +++ b/未分类/GaN 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+oid sha256:99a336ff3546ca6dd6302e2c2cae8b70f1eb0d63a6b3136f6b76df3541a633f4 +size 1588483 diff --git a/未分类/Origin of Double-Rhombic Single Shockley Stacking Faults in 4H-SiC Epitaxial Layers.pdf b/未分类/Origin of Double-Rhombic Single Shockley Stacking Faults in 4H-SiC Epitaxial Layers.pdf new file mode 100644 index 0000000..20a2247 --- /dev/null +++ b/未分类/Origin of Double-Rhombic Single Shockley Stacking Faults in 4H-SiC Epitaxial Layers.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:1a947c118b1cbd571a0a1809129553dcb52bd93afb4b7ea7f2e83dc6bf905bb2 +size 3036900 diff --git a/未分类/Physics of Semiconductor Devices.pdf b/未分类/Physics of Semiconductor Devices.pdf new file mode 100644 index 0000000..7765c54 --- /dev/null +++ b/未分类/Physics of Semiconductor Devices.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:0b9ac363d51236eb45902c66b469a20cb9c95deac5cf4c8cc900d1cfc6c48f04 +size 39060791 diff --git a/未分类/Role of Intrinsic Surface States in Efficiency Attenuation of GaN-Based Micro-Light-Emitting-Diodes.pdf b/未分类/Role of Intrinsic Surface States in Efficiency Attenuation of GaN-Based Micro-Light-Emitting-Diodes.pdf new file mode 100644 index 0000000..b6e792f --- /dev/null +++ b/未分类/Role of Intrinsic Surface States in Efficiency Attenuation of GaN-Based Micro-Light-Emitting-Diodes.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:660044c75354db77b12ab069cc2dc3324c82cbdc44bafc49d38330504e8640e7 +size 2086758 diff --git a/未分类/Single Shockley Stacking Fault Expansion from Immobile Basal Plane Dislocations in 4H-SiC.pdf b/未分类/Single Shockley Stacking Fault Expansion from Immobile Basal Plane Dislocations in 4H-SiC.pdf new file mode 100644 index 0000000..ff0b451 --- /dev/null +++ b/未分类/Single Shockley Stacking Fault Expansion from Immobile Basal Plane Dislocations in 4H-SiC.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid 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Dislocations on Both Ends.pdf new file mode 100644 index 0000000..14decca --- /dev/null +++ b/未分类/Transmission Electron Microscopy Study of Single Shockley Stacking Faults in 4H-SiC Expanded from Basal Plane Dislocation Segments Accompanied by Threading Edge Dislocations on Both Ends.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:f6ee01f24cb58a27fa30cf5c879a40020547bec5392a01953d9927701d58deeb +size 543525