diff --git a/SiC/4H-SiC厚膜外延关键技术研究和器件验证.md b/SiC/4H-SiC厚膜外延关键技术研究和器件验证.md new file mode 100644 index 0000000..989231f --- /dev/null +++ b/SiC/4H-SiC厚膜外延关键技术研究和器件验证.md @@ -0,0 +1,8 @@ +# 4H-SiC厚膜外延关键技术研究和器件验证 + +## 第四章 p 型 SiC 外延生长技术 + +这里提到一个理论,掺入 Al 原子后,晶格发生畸变。 +为了释放这个应力,产生了位错。 +这里是否可以与位错的化学势与完美晶体中插入 Al 的化学势来解释? +这个理论来自论文 Observation of stacking faults formed during homoepitaxial growth of p-type 4H-SiC diff --git a/SiC/Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys SUPPLEMENTARY INFORMATION.pdf b/SiC/Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys SUPPLEMENTARY INFORMATION.pdf new file mode 100644 index 0000000..945cadb --- /dev/null +++ b/SiC/Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys SUPPLEMENTARY INFORMATION.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:6aac98f8adc6fc0c1c40eb21d5e7e523d063054f3abf7ec572667d730df14d3d +size 3724176 diff --git a/SiC/Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys.md b/SiC/Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys.md new file mode 100644 index 0000000..b8f8e16 --- /dev/null +++ b/SiC/Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys.md @@ -0,0 +1,35 @@ +# Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys + +一般认为,在 Fe 中掺入 C,随着 C 浓度增加,会经历两个阶段: +* C 浓度较低时,C 随机地分布在间隙位中,导致平均来看,晶格的 c/a 仍然是 1(Fe 本身是 bcc 结构)。 +* C 浓度较高时,C 会形成一些有序的结构,有更倾向于占据的位置,这时晶格的 c/a 会大于 1,且会随着 C 浓度的增加而线性增加。 + +晶格的 c/a 可以通过实验测量,的确是类似这样的。 + +但存在的问题有: +* 这个具体的相变点在哪里?(对应的 C 浓度) +* 有理论认为,C 可能会出现在晶界等缺陷处,这如何与实验观察到的相吻合? + +这篇文章认为,随着 C 浓度增加,会经历下面四个阶段: +* 位错处的 C 化学势最低,C 会优先占据位错处直到占满。这个阶段大约会消耗 0.8% 的 C。 +* 然后位错会占据随机(无序)的位置,直到达到一个临界状态。这个阶段大约会消耗 0.8% 的 C。 +* 在这之后,有序位置的化学势会低于无序位置但高于缺陷,因此 C 会倾向于占据有序位置。这个阶段大约会消耗 1% 的 C。这个阶段开始,c/a 会增加。 +* 再之后,有序位置的化学势会低于缺陷,因此原本占据缺陷的 C 会转移到有序位置。 + 在这个阶段的开始处,c/a 会有一个突变,并使得它减一的值与 C 浓度成正比。 + +为了计算这个结论,作者在两个方面发力。 +一方面是,点缺陷(C 位于晶格而不是缺陷中时)之间的相互影响(能量),进而估计这种情况下的化学势。 +另一方面是,位错中 C 的化学势。 + +## 点缺陷相互作用能 + +作者首先提到了这样一个经典的模型:描述两个不同的点缺陷之间相互作用的能量时,使用下面的式子: + +$$ + V_{mn} = -\frac1N \sum_q F_m(q)G(q)F_n^\text T(q)\exp(iq\cdot R_{mn}) +$$ + +注意这里仅仅是指点缺陷之间相互作用的能量,它们本身嵌入晶格的能量不计算在内。 +并且这里只考虑了长程的作用(通过晶格畸变而传导的那部分能量),通过电荷相互作用而导致的能量完全没有考虑。 + + diff --git a/SiC/Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys.pdf b/SiC/Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys.pdf new file mode 100644 index 0000000..500b839 --- /dev/null +++ b/SiC/Mechanism of collective interstitial ordering in Fe-C alloys.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:d52d2fd2fdce6813c623d0250127f5cd56227fbca367c21e13d6052f11f90a7c +size 2158369 diff --git a/SiC/Observation of stacking faults formed during homoepitaxial growth of p-type 4H-SiC.md b/SiC/Observation of stacking faults formed during homoepitaxial growth of p-type 4H-SiC.md new file mode 100644 index 0000000..5868937 --- /dev/null +++ b/SiC/Observation of stacking faults formed during homoepitaxial growth of p-type 4H-SiC.md @@ -0,0 +1,16 @@ +# Observation of stacking faults formed during homoepitaxial growth of p-type 4H-SiC + +这篇论文给出了 Al 重掺时的台阶形貌。他说这个形貌符合另外一个文章的预测(一篇会议文章,找不到pdf)。 + +另外它描述了外延层中的缺陷,从衬底到外延层,是如何发展的。 +在接近衬底的部分,有很多线缺陷。这些线缺陷大多会转化成层错。 +因此,在接近衬底的部分,层错的密度很高。在外延层的顶部,层错的密度会降低。 +除了转化成层错,burgers 矢量相反的线缺陷也会相互合并,这样外延层的缺陷密度会降低。 + +这些层错大多是 2SSF。 + +他还分析了“晶格常数不同导致应力,为了释放应力导致层错”这个事情。 +但它只是定性地推测了一下,用来解释实验结果,并没有给出定量的计算。 + + + diff --git a/SiC/Observation of stacking faults formed during homoepitaxial growth of p-type 4H-SiC.pdf b/SiC/Observation of stacking faults formed during homoepitaxial growth of p-type 4H-SiC.pdf new file mode 100644 index 0000000..145d896 --- /dev/null +++ b/SiC/Observation of stacking faults formed during homoepitaxial growth of p-type 4H-SiC.pdf @@ -0,0 +1,3 @@ +version https://git-lfs.github.com/spec/v1 +oid sha256:83f07909d94029134d28a5016e6e592f5044374c891dff27a43a43aa595c6220 +size 851190