# Effect of step edges on the adsorption behavior on vicinal AlN(0001) surface during metal-organic vapor phase epitaxy: An ab initio study

## Abstract

通过 Ehrlich−Schwoebel barrier 来估计台阶会倾向于形成单层的还是聚束。

考虑了吸附了各种团簇（包含 N Al H 原子）的台阶的形成能（包括了化学势）。
用类似的方法来确定，在富 N 和富 Al 的情况下，哪个台阶更容易出现。

## COMPUTATIONAL DETAILS

提到了一个 EC (electron counting) 的概念，用于确定有哪些可能的结构。
