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SiC-2nd-paper/画图/拉曼结果拟合
2025-09-09 10:33:14 +08:00
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关于片子:

  • 有五个片子可以被切为碎片。

  • 这五个片子的 C/Si 比为0.7 1.2 1.6 2.4 2.0

  • 这五个片子的 Al 浓度分别为0.1 3.8 5.1 6.4 10 单位是 E18cm-3。

  • 这五个片子编号的末尾分别为532 631 230 126 206

  • 这五个片子的编号的开头分别为4N46-{JW,FM,GE,EA,UX}

  • 这五个片子的外延层厚度分别为1um*5 2um

  • 此外还有两个片子603 为衬底重掺n型911为几乎没有掺杂略微有一些n的外延层。

  • 20250908: 正入射,各外延层及衬底的情况。欠焦 5 微米(衬底不欠焦)。光谱范围 170-1100。采集时间 5 累计次数 12 共焦针孔 50 光栅 1800。