SiC-2nd-paper/画图/拉曼结果拟合/README.md

关于片子：

• 有五个片子可以被切为碎片。

• 这五个片子的 C/Si 比为：0.7 1.2 1.6 2.4 2.0

• 这五个片子的 Al 浓度分别为：0.1 3.8 5.1 6.4 10 单位是 E18cm-3。

• 这五个片子编号的末尾分别为：532 631 230 126 206

• 这五个片子的编号的开头分别为：4N46-{JW,FM,GE,EA,UX}

• 这五个片子的外延层厚度分别为：1um*5 2um

• 此外还有两个片子，603 为衬底，重掺n型；911为几乎没有掺杂（略微有一些n）的外延层。

• 250908: 正入射，各外延层及衬底的情况。欠焦 5 微米（衬底不欠焦）。光谱范围 170-1100。采集时间 5 累计次数 12 共焦针孔 50 光栅 1800。

• 250909：

  • 1: 测试不同的共焦针孔和不同的离焦距离。
    • 测试共焦针孔大小：50 100 200
    • 测试离焦距离：0 2 5
    • 同一个点，每次测试三次。
    • 仅测试 zyyz，仅测试LOPC附近。
    • 积分时间不固定，次数x时间总共60s。
    • 在选定最好的共焦针孔和离焦距离后，在更细的尺度上进行调整。最终确定精度：离焦距离 1 针孔大小 10
    • 继续测试：离焦 0，针孔 80 100 120
    • 表面敏感：主要通过调节聚焦针孔。离焦也有一些用，但用处不如调节聚焦针孔来得明显。针孔调整到50左右可能最好，离焦 5 可能最好。
    • 高度、积分时间、积分次数：积分时间需要恰当，使得最高的峰不饱和，同时低处的峰足够高（CCD有限的分辨率可以被忽略）。要分析的目标峰，至少要1000左右比较合适。如果线抖动得比较厉害，说明积分次数（平均次数）不够，需要增加一些。
    • 使用206正面，zyyz。
    • 1: 共焦针孔 50 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
    • 2: 共焦针孔 100 欠焦 0 采集时间 3 累计次数 10
    • 3: 共焦针孔 200 欠焦 0 采集时间 1 累计次数 30
    • 4: 共焦针孔 50 欠焦 2 采集时间 10 累计次数 3
    • 5: 共焦针孔 100 欠焦 2 采集时间 3 累计次数 10
    • 6: 共焦针孔 200 欠焦 2 采集时间 1 累计次数 30
    • 7: 共焦针孔 50 欠焦 5 采集时间 10 累计次数 3
    • 8: 共焦针孔 100 欠焦 5 采集时间 3 累计次数 10
    • 9: 共焦针孔 200 欠焦 5 采集时间 1 累计次数 30
    • 10: 共焦针孔 80 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
    • 11: 共焦针孔 120 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
    • 12: 共焦针孔 70 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
    • 13: 共焦针孔 50 欠焦 5 采集时间 12 累计次数 10
  • 2: 测试各个片子的正入射结果。采集时间 30 累计次数 4 共焦针孔 50 欠焦 5。
    • 测试顺序为：
      • 第一轮：Si 片 532衬底 532 631 230 126 206 Si 片
      • 第二轮与第一轮相反。
    • 标号为：1 Si片 2 532背面 3 532 4 631 5 230 6 126 7 206

• 250910:

  • 1: 使用 Si 片，测试结果的可复现性。每次测试使用五个点。
  • 2: 使用 Si 片，重复测试同一个点 20 次，计算出峰高等数据的标准差，用作之后的工作中参考。
  • 3: 测试外延片和衬底。离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-650，1 是衬底，其余依次是 532 631 230 126 206。
    • 第一次测试正常完成，全程不移动光谱，但光谱仍然出现偏移。因此仍然需要以某个峰为基准，进行测量。
    • 第二次测试一半时软件崩溃，导致光谱发生移动。此后测试时，需要禁止软件启动时初始化，并且在设定好参数后，立即重启软件（使得软件崩溃后再打开，不需要移动光谱）。

• 250923: 对衬底结果的一些补充。离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 150-650 580-1050 测试11个点。

  • 1: 正入射 zyyz 前半和后半数据。直接使用线扫描，获得 11 个数据。
  • 2: 侧入射 xyyx 前半和后半数据。分别取 11 个点，分别保存数据。
  • 3: 衬底正入射zxxz，略微垫起一些，使得E1减小。

• 251008:

  • 1: 摆拍几张照片
  • 2: 衬底侧入射 xzzx xzyx 离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 150-650 580-1050 11 个点
  • 3: 衬底正入射 zxxz zxyz 离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 150-650 580-1050 11 个点

• 251019:

  • 1: 衬底侧入射 xzyx 观察 E12 离焦 0 针孔 100 积分时间 30 积分次数 10 范围 600-790 5 个点
  • 2: 正入射衬底，将zxxz稍微垫高一点的结果。垫高x方向的某个方向。先分别测试不垫高和垫高的结果，确认有明显差别后再多测试几个点。
  • 3: 外延层正入射，离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 580-1050，1 是衬底，其余依次是 532 631 230 126 206 取 11 个点。

• 2510xx:

  • 1: 正入射衬底，将zxxz稍微垫高一点的结果。垫高x方向的某个方向。
  • 2: 外延层侧入射。
  • 3: 衬底侧入射 xzyx 延长积分时间以得到 E12