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关于片子:

  • 有五个片子可以被切为碎片。

  • 这五个片子的 C/Si 比为0.7 1.2 1.6 2.4 2.0

  • 这五个片子的 Al 浓度分别为0.1 3.8 5.1 6.4 10 单位是 E18cm-3。

  • 这五个片子编号的末尾分别为532 631 230 126 206

  • 这五个片子的编号的开头分别为4N46-{JW,FM,GE,EA,UX}

  • 这五个片子的外延层厚度分别为1um*5 2um

  • 此外还有两个片子603 为衬底重掺n型e19 量级911为几乎没有掺杂略微有一些n1e15的外延层。

  • 250908: 正入射,各外延层及衬底的情况。欠焦 5 微米(衬底不欠焦)。光谱范围 170-1100。采集时间 5 累计次数 12 共焦针孔 50 光栅 1800。

  • 250909

    • 1: 测试不同的共焦针孔和不同的离焦距离。
      • 测试共焦针孔大小50 100 200
      • 测试离焦距离0 2 5
      • 同一个点,每次测试三次。
      • 仅测试 zyyz仅测试LOPC附近。
      • 积分时间不固定次数x时间总共60s。
      • 在选定最好的共焦针孔和离焦距离后,在更细的尺度上进行调整。最终确定精度:离焦距离 1 针孔大小 10
      • 继续测试:离焦 0针孔 80 100 120
      • 表面敏感主要通过调节聚焦针孔。离焦也有一些用但用处不如调节聚焦针孔来得明显。针孔调整到50左右可能最好离焦 5 可能最好。
      • 高度、积分时间、积分次数积分时间需要恰当使得最高的峰不饱和同时低处的峰足够高CCD有限的分辨率可以被忽略。要分析的目标峰至少要1000左右比较合适。如果线抖动得比较厉害说明积分次数平均次数不够需要增加一些。
      • 使用206正面zyyz。
      • 1: 共焦针孔 50 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
      • 2: 共焦针孔 100 欠焦 0 采集时间 3 累计次数 10
      • 3: 共焦针孔 200 欠焦 0 采集时间 1 累计次数 30
      • 4: 共焦针孔 50 欠焦 2 采集时间 10 累计次数 3
      • 5: 共焦针孔 100 欠焦 2 采集时间 3 累计次数 10
      • 6: 共焦针孔 200 欠焦 2 采集时间 1 累计次数 30
      • 7: 共焦针孔 50 欠焦 5 采集时间 10 累计次数 3
      • 8: 共焦针孔 100 欠焦 5 采集时间 3 累计次数 10
      • 9: 共焦针孔 200 欠焦 5 采集时间 1 累计次数 30
      • 10: 共焦针孔 80 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
      • 11: 共焦针孔 120 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
      • 12: 共焦针孔 70 欠焦 0 采集时间 10 累计次数 3
      • 13: 共焦针孔 50 欠焦 5 采集时间 12 累计次数 10
    • 2: 测试各个片子的正入射结果。采集时间 30 累计次数 4 共焦针孔 50 欠焦 5。
      • 测试顺序为:
        • 第一轮Si 片 532衬底 532 631 230 126 206 Si 片
        • 第二轮与第一轮相反。
      • 标号为1 Si片 2 532背面 3 532 4 631 5 230 6 126 7 206
  • 250910:

    • 1: 使用 Si 片,测试结果的可复现性。每次测试使用五个点。
    • 2: 使用 Si 片,重复测试同一个点 20 次,计算出峰高等数据的标准差,用作之后的工作中参考。
    • 3: 测试外延片和衬底。离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-6501 是衬底,其余依次是 532 631 230 126 206。
      • 第一次测试正常完成,全程不移动光谱,但光谱仍然出现偏移。因此仍然需要以某个峰为基准,进行测量。
      • 第二次测试一半时软件崩溃,导致光谱发生移动。此后测试时,需要禁止软件启动时初始化,并且在设定好参数后,立即重启软件(使得软件崩溃后再打开,不需要移动光谱)。
  • 250923: 对衬底结果的一些补充。离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 150-650 580-1050 测试11个点。

    • 1: 正入射 zyyz 前半和后半数据。直接使用线扫描,获得 11 个数据。
    • 2: 侧入射 xyyx 前半和后半数据。分别取 11 个点,分别保存数据。
    • 3: 衬底正入射zxxz略微垫起一些使得E1减小。
  • 251008:

    • 1: 摆拍几张照片
    • 2: 衬底侧入射 xzzx xzyx 离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 150-650 580-1050 11 个点
    • 3: 衬底正入射 zxxz zxyz 离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 150-650 580-1050 11 个点
  • 251019:

    • 1: 衬底侧入射 xzyx 观察 E12 离焦 0 针孔 100 积分时间 30 积分次数 10 范围 600-790 5 个点
    • 2: 正入射衬底将zxxz稍微垫高一点的结果。垫高x方向的某个方向。先分别测试不垫高和垫高的结果确认有明显差别后再多测试几个点。
    • 3: 外延层正入射,离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 580-10501 是衬底,其余依次是 532 631 230 126 206 取 11 个点。
  • 251126:

    • 1: 外延层侧入射。离焦 0 针孔 100 积分时间 10 积分次数 10 范围 150-650 580-1050 6 个点。先测试xyyx用于和正入射比对再测试xzzx和xzyx用于比对衬底和外延层的TO峰。因为难以对焦到外延层因此尝试对焦到外延层和衬底的分界处两个TO峰差不多高
    • 2: 衬底侧入射补充一个数据。xyyx。