= Method

== Experiment details

外延片的厚度、掺杂浓度、生长 C/Si 比。

拉曼设备的型号。激光的波长，背散射。共焦针孔。对焦时向上或向下调整的距离。

画个图，表示正入射、掠入射和肩入射的角度关系。

Only back-scattering configurations were considered in this study.

== Simulation details

无缺陷的模型大小。带缺陷的情况下，模型大小，每个模型的代号和缺陷结构。

第一性原理计算使用 VASP，使用 PBE PAW，平面波截断能，K 点网格，涂抹，自洽和弛豫的 threshold。
声子计算使用 phonopy phono3py ufo，BEC 修正的算法。

// 在略入射的过程中，角度的关系不大（即使是 60 度入射，和 90 度入射差别也不大）。因此我们按照折射角 20 度的结果计算。
// 考虑到斜切，则大约是 24 度。