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@@ -44,21 +44,13 @@
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* 3: 测试外延片和衬底。离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-650,1 是衬底,其余依次是 532 631 230 126 206。
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* 第一次测试正常完成,全程不移动光谱,但光谱仍然出现偏移。因此仍然需要以某个峰为基准,进行测量。
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* 第二次测试一半时软件崩溃,导致光谱发生移动。此后测试时,需要禁止软件启动时初始化,并且在设定好参数后,立即重启软件(使得软件崩溃后再打开,不需要移动光谱)。
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* 2509xx:
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* 1: 测试衬底数据,用来给论文的无缺陷数据使用。包括正入射 zyyz yzxz,肩入射 yzxy yzzy,以及一个用来自己比对(不写到论文里)的 yxxy。
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离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-1100 测试三个点,忽略光谱移动等误差,论文用三个来平均。
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1. 测试正入射数据。
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* 使用上面选定的共焦针孔、积分时间、离焦距离。
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* 依次换片:硅片,衬底,12345号片,硅片。然后再反过来。一次只测试一个点。
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* 范围:170-1100
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* ==提前准备好拟合脚本==
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2. 测试肩入射数据。
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* 测试衬底的肩入射数据。测试五个点。
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* 按照某一个标准,测试各个样品的肩入射数据。仅测试yy和yz偏振。
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Si 共焦针孔 200
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* 250923: 对衬底结果的一些补充。离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-650 580-1000 测试11个点。
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* raw:
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* 1: 正入射 zxxz 前半。
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* 2: 正入射 zxxz 后半。
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* 3: 侧入射 yxxy 前半。
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* 4: 侧入射 yxxy 后半。
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离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-650 550-1000 各测试11个点。
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* 2: 衬底正入射zxxz,略微垫起一些,使得E1减小。
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* 3: 测试外延层正入射数据。离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-1000 测试十个点,手动移动光谱并手动对齐。
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