From e31e8ca42e2a265f9a3d2847adf6b7aff7807195 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: chn Date: Fri, 6 Jun 2025 19:05:38 +0800 Subject: [PATCH] --- test-typst/section/introduction.typ | 39 ++++++++++++++++++----------- 1 file changed, 24 insertions(+), 15 deletions(-) diff --git a/test-typst/section/introduction.typ b/test-typst/section/introduction.typ index 5ff59c4..b056b36 100644 --- a/test-typst/section/introduction.typ +++ b/test-typst/section/introduction.typ @@ -1,5 +1,10 @@ -// SiC 是很好的材料。 -// 其中，4H-SiC 是SiC的一种多型，它的性质更好，近年来随着外延工艺的成熟而获得了更多的关注。 +4H-SiC 是一种具有优良性质的半导体材料，包括宽禁带、高临界电场强度、高热导率和沿 c 轴的高电子迁移率，因此受到了广泛的研究。 +受益于外延技术的发展和新能源产业的需求增长，4H-SiC 在功率电子器件中得到了广泛应用。 +然而，4H-SiC 器件的性能仍然受到缺陷的限制，如何在生长和工作条件下避免缺陷的产生仍然是一个挑战。 +此外，用于表征 SiC 掺杂的方案（如二次离子质谱（SIMS）和霍尔效应测量）通常是破坏性的且耗时，因此迫切需要开发原位和非破坏性的表征技术。 + +// 随着尺寸缩小，4H-SiC 中的缺陷对器件性能的影响更加显著。（纳米材料？ + The 4H-silicon carbide (SiC) has long attracted a lot of research thanks to its wider bandgap, higher critical electric field strength, higher thermal conductivity, and higher electron mobility along the c-axis @@ -20,9 +25,11 @@ Furthermore, are destructive and time-consuming. Therefore, there is a pressing need to develop an in-situ and non-destructive characterization techniques. -// 声子（量子化的原子振动）在理解晶体的原子结构以及热电性质方面起着重要作用。 -// 声子可以通过多种实验技术来探测，包括 EELS、IR 吸收谱等。 -// 拉曼光谱是最常用的方法，它提供了一种无损、非接触、快速和局部的声子测量方法，已被广泛用于确定晶体的原子结构（包括区分 SiC 的多型）。 +声子（量子化的原子振动）在理解晶体的原子结构以及热电性质方面起着重要作用。 +声子可以通过多种实验技术来探测，包括 EELS、IR 吸收谱等。 +拉曼光谱是最常用的方法，它提供了一种无损、非接触、快速和局部的声子测量方法。 +早有关于拉曼的研究，且拉曼已被广泛用于区分 SiC 的多型。 + Phonons (quantized atomic vibrations) play a fundamental role in understanding the atomic structure as well as the thermal and electrical properties of semiconductors. They could be probed by various experimental techniques, @@ -37,18 +44,20 @@ Studies in Raman scattering of 4H-SiC have been conducted since as early as 1968 and nowadays have been widely employed to identification of different SiC polytypes @guo_characterization_2012 @yan_study_2016 @hundhausen_characterization_2008 @nakashima_raman_2013. -// 近年来，更多信息被从拉曼光谱中挖掘出来。 -// LOPC 已经被用于快速估计 n 型 SiC 的掺杂浓度。 -// 层错的拉曼光谱也已经被研究，可以被用于检测特定结构层错的存在和位置。 -// 掺杂对拉曼光谱的潜在影响也已经被研究。 -// 然而，拉曼光谱上仍有一些不知来源的峰；同时，一些也缺少一些理论上预测应该存在的峰。 -// 此外，预测掺杂导致的新峰也没有说明原因。 +近年来，更多信息被从拉曼光谱中挖掘出来。 +LO 声子峰或 LOPC 峰已经被证明与自由载流子的类型和浓度有关，它们已经被用于估计离子注入层的厚度和 n 型 SiC 的掺杂浓度。 +部分层错的拉曼光谱也已经被研究，可以被用于检测特定结构层错的存在和位置。 +也有一些研究探讨了掺杂对拉曼光谱的影响。 // TODO: 具体是什么影响？ +然而，拉曼光谱上仍有一些不知来源的峰；同时，也缺少一些理论上预测应该存在的峰。 +此外，预测掺杂导致的新峰也没有说明原因。 + In recent years, increasingly rich information has been extracted from Raman spectra of 4H-SiC. Longitudinal optical phonon–plasmon coupling (LOPC) peek - has been utilized to rapidly estimate the doping concentration in n-type SiC, - // TODO: 增加使用 LOPC 估计 n 型掺杂浓度的论文 - and the existence of LO peek have been used to different the focus in p-type epilayer and in n-type substrate. - // TODO: LOPC 来区分外延层和衬底的文献 + has been utilized to rapidly estimate to identify doping type in different layers + // depth profiling xxx + and the doping concentration in n-type SiC. + // Raman scattering from anisotropic LO-phonon-plasmo + Peeks associated with some stacking faults have also been investigated and used to detect the presence and location of specific structural faults. // TODO: 缺陷峰，并补充对应的文献