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@@ -14,3 +14,13 @@ The Al doping concentrations, determined by SIMS,
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were 0.1, 3.8, 5.1, 6.4, and 10 #sym.times 10 cm#super[-3] for W#sub[1]–W#sub[5], respectively.
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W#sub[1]–W#sub[4] had an epitaxial layer thickness of 1 μm, while W#sub[5] had a thickness of 2 μm.
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The Si/C ratios during growth were 0.7, 1.2, 1.6, 2.4, and 2.0 for the five wafers, respectively.
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坐标轴的定义
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坐标轴的定义需要仔细考量才能使计算与实验结果对应。
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4H-SiC 存在三个互相之间夹角为 60 度的镜面(mirror plane),同时还存在三个互相之间夹角为 60 度的滑移面(glide plane)。
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我们定义某一个滑移面与基平面的交线为 x 轴,与此滑移面相垂直的镜面与基平面的交线为 y 轴。
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同时,我们定义沿 x 方向为晶格的 a 轴(即 a 轴在一个滑移面内)。
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此定义与实验中常用的定义一致,包括晶圆的切边沿 xxx 方向(即 xx 轴)、台阶流外延过程中台阶生长的方向为 xxx (即 xx 轴),台阶边沿 沿 y 方向(即 yy 轴)。
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此定义也与 material projects 数据库以及一些文献中的定义一致。
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然而,此定义与其它一些文献中的定义不同,尤其是与群论中的定义不一致;本文中引用结论时,会将它们的定义转换为本文的定义。
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@@ -11,7 +11,7 @@
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- [x] 英文
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- [x] 调整语言
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- [ ] 坐标轴定义
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- [ ] 中文,30
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- [x] 中文,20
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- [/] 拉曼实验
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- [x] 仪器设置
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- [x] 中文
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