From c1dd3b2981d2969bfee6dcc54a921e201fd3ca66 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: chn Date: Thu, 21 Aug 2025 17:24:45 +0800 Subject: [PATCH] =?UTF-8?q?slide:=20=E5=AE=8C=E6=88=90=20method=20?= =?UTF-8?q?=E7=9A=84=E6=A1=86=E6=9E=B6?= MIME-Version: 1.0 Content-Type: text/plain; charset=UTF-8 Content-Transfer-Encoding: 8bit --- slide/main.typ | 69 ++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++-------- 1 file changed, 58 insertions(+), 11 deletions(-) diff --git a/slide/main.typ b/slide/main.typ index d6aee60..673d659 100644 --- a/slide/main.typ +++ b/slide/main.typ @@ -17,18 +17,32 @@ = 研究目的、背景 -== 为什么选这个柿子捏（我们有什么优势） +== 为什么选这个课题（我们有什么优势） - 拉曼实验：亲自实验，可以细致地进行一些非常规的实验。 - 原理：有基础，用群表示论来解释拉曼可见性/强弱。 - 第一性原理计算：有基础，声子能带反折叠/缺陷的性质。 -- 前人的研究：坑还没有被填完。 +- 前人的研究：坑还没有被填完。（没有填上的坑下一节再说） +- 应用：可以和实际应用扯上关系。 + - 通过拉曼来无损、快速、原位地检测缺陷、掺杂浓度，等。 + - 还有没有别的？ == 研究目的（名义上，introduction） -- 4H-SiC 性能很好、器件应用广泛，因此需要开发原位的、非破坏性的表征技术。 +分三段来写。 + +- 4H-SiC 性能很好、器件应用广泛。但缺陷仍然制约着器件的性能， + 因此需要开发原位的、非破坏性的表征技术。 - 拉曼主要体现声子的信息，并且早已经有应用，主要用来区分 SiC 的多型。 -- 拉曼谱中有更多信息。有一些新的研究，但他们还有不足。 + 拉曼谱中有更多信息。有一些新的研究，但他们还有不足。（内容见下文） +- 本文做了什么，得到了什么结论，其中第一次做到了什么。 + +== 现有研究和不足 + +此处不列用拉曼来区分 SiC 的多型的研究，因为这些太多了、很成熟了。 + +// TODO: 这里需要逐个阅读论文，然后总结到一起。 +// 需要读的很多，可以每天整理一篇吧。 == 论文标题（暂定） @@ -38,33 +52,66 @@ == 坐标轴定义 -对于拉曼张量，4H-SiC在面内并不总是各向同性的。因此需要仔细定义坐标轴。 +- 因为各向异性（即，沿x和y方向的振动效果不同），需要仔细定义坐标轴。 +- 我们定义沿glide plane（滑移面）是x方向，沿mirror plane（镜面）是y方向。 +- 这个定义和大多数文献一致，只与少部分文献不一致。 -- 对于由原子结构决定的一阶、二阶张量，面内没有各向异性； - 但拉曼张量还与原子振动方向有关（三阶张量），原子在面内振动时，拉曼张量在面内就可能是各向异性的。 -- 我们的定义与大部分文献一致。 +// 对于拉曼张量，4H-SiC在面内并不总是各向同性的。因此需要仔细定义坐标轴。 +// +// - 对于由原子结构决定的一阶、二阶张量，面内没有各向异性； +// 但拉曼张量还与原子振动方向有关（三阶张量），原子在面内振动时，拉曼张量在面内就可能是各向异性的。 +// - 我们的定义与大部分文献一致。 #figure( image("/画图/坐标/embed.svg"), placement: none, ) +// TODO: 画一个图，描述晶圆上是如何定义的，以及微观台阶上是如何定义的。 + == 样品 - 掺Al外延片，共 5 个： - 前四个外延片的厚度为 1 微米，第五个外延片的厚度为 2 微米。 - - 外延层的 Al 掺杂浓度分别为 0.1 3.8 5.1 6.4 10 E18 cm#super[-3]。 + - 外延层的 Al 掺杂浓度分别为 0.1 3.8 5.1 6.4 10 #sym.times 18 cm#super[-3]。 - 生长时 Si/C 比分别为 0.7 1.2 1.6 2.4 2.0。 +- 此外还有非掺杂的外延片和掺 N 的衬底，看情况是否写到论文里。 == 拉曼实验中的激光入射 -- 我们考虑三个入射方向：正入射、略入射和肩入射。 +- 我们考虑三个入射方向：正入射、掠入射和肩入射。 - 由于斜切和汇聚角，正入射并不完全是“正”的。 - 由于SiC的折射率较大，导致略入射中，起作用的散射角只有大约 25#sym.degree。 -- 由于对焦困难，略入射的情况下，光谱精细度远远不如其它两种情况（尽管已将积分时间大大延长）。 +- 由于对焦困难，掠入射的情况下，光谱精细度远远不如其它两种情况（尽管已将积分时间大大延长）。 #figure( image("/画图/入射方向/main.svg"), placement: none, ) +== 模型与计算 + +// TODO: 整理这里 + += 无缺陷的结果 + +== 总述 + +- 3A#sub[1]+4B#sub[1]+3E#sub[1]+4E#sub[2]（为 C#sub[6v] 群中的结果，即不考虑入射光方向的影响时）。 +- 1A#sub[1]+1E#sub[1] 是强极性模式，其余为弱极性或没有极性的模式。 +- 其中 B#sub[1] 无拉曼活性， +- 以上。当考虑到激光入射方向时，结果需要作一些修正；尤其是，入射方向不平行于 c 轴时，极性模式会发生明显改变。 +- 无缺陷的结果占据了拉曼光谱的主要部分；缺陷/掺杂导致的效应，对应于这些峰的改变或一些没有解释的小峰。 + +== 非极性模式 + +- 只有一个 E#sub[2] 模式非常高，其它都比较小；这是群表示论可以预测的结果。 +- 与理论比对，实验中缺少 1E#sub[1]+1E#sub[2]。这可以解释为最高的峰将附近的两个峰淹没了。 +- 1A#sub[1] 在一些实验中可以看到而在另外一些实验中看不到，我们的计算表明它对偏振沿着 c 轴的分量散射较强， + 因此需要一定的入射角（不能是正入射）才能看到。 + +== 极性模式 + +- 极性模式的散射强度都比较大。 +- 在不同入射方向下，极性模式最多会呈现出三个峰。 +