准备模拟脚本

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2025-09-13 18:05:22 +08:00
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* 3: 测试外延片和衬底。离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-6501 是衬底,其余依次是 532 631 230 126 206。
* 第一次测试正常完成,全程不移动光谱,但光谱仍然出现偏移。因此仍然需要以某个峰为基准,进行测量。
* 第二次测试一半时软件崩溃,导致光谱发生移动。此后测试时,需要禁止软件启动时初始化,并且在设定好参数后,立即重启软件(使得软件崩溃后再打开,不需要移动光谱)。
* 2509xx:
* 1: 测试衬底数据,用来给论文的无缺陷数据使用。包括正入射 zyyz yzxz肩入射 yzxy yzzy以及一个用来自己比对不写到论文里的 yxxy。
离焦 0 针孔 100 积分时间 5 积分次数 10 范围 170-1100 测试三个点,忽略光谱移动等误差,论文用三个来平均。